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真空泵抽气分为哪几个阶段

发布时间:2021-04-06 09:51:59  浏览次数:192

  真空泵抽气分为哪几个阶段?真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。在泵腔内形成通过旋转产生体积的变化而将气体排出泵外,主要是在吸气过程中,吸气腔体积增大,真空度降低,将容器内气体吸入泵腔,在排气过程中体积变小,压强增大,最终通过油封将吸入的气体排出泵外。

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  按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即气体捕集泵和气体传输泵。真空泵抽气分为三个阶段。任何真空系统都希望尽量缩短抽气的时间,这关系到提高效率和降低能耗,但并不是所有的真空应用都具有缩短抽气时间的条件。可以把不同的真空应用分为两大类:一类是不改虑系统内的放气量,而只有真空度的要求;另一类是要求真空室内充沛的放气,即放气率要降到某一临界值。

  这两类不同的应用对泵配置的要求是不一样的对于前一类应用,如真空度要求在0.5pa以上,只要时间常数足够的小,便可昼量缩短抽气的时间。但如真空度要求在0.5Pa以下,就必需改虑放气对压力变化的影响。放气量随时间的变化缓慢。特别是无烘烤的情况下。要在预定较短的时间内达到较高的真空度,就必需以较大的抽速抽除较大的放气量。也就是说如放气量为Q泵的有效抽速为S0则可达到平衡压力P=Q/S0如平衡压力确定,则达到时间越短,要求泵的有效抽速就越大。

  蒸发镀膜就是典型的这类的应用,由于蒸镀的速度快,时间短,所以不考虑放气量的影响(即活性气体的影响)但蒸发粒子的能量低,要求绝大部分粒子无碰撞地沉积到工件上,以保证结合力及减少散射,这就要求真空室内的平均自由程不小于蒸发源到工件的距离,与此相应的压力约在110-2Pa这便是蒸发镀膜对真空度的要求。如何在尽量短的时间内达到这一压力,就对泵的有效抽速提出了要求,原则是时间越短,由于放气量越大,有效抽速就要求越大。所以蒸发镀膜一般配置抽速强大的油扩散泵机组,功率有数十千瓦,几分钟至十几分钟内便可达到工作真空度,但该系统对工件造成的油蒸汽污染是难以防止的特别是塑料金属化膜层易发黄。

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