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阿特拉斯干式真空泵怎么进行选择

发布时间:2021-02-23 08:52:00  浏览次数:1408

干式真空泵是未来行业的发展趋势。虽然现在用得不多,但除了价格高之外,也有用户对干式真空泵不太了解,看不到未来给企业带来的经济效益。小编认为干式真空泵的维护重点在于如何优化干式真空泵的选择。

  对于这些不同类型的干式真空泵,我们渴望减小它们的物理尺寸。但这与真空泵的抽吸速率相矛盾,因为真空泵的抽吸速率与真空泵的体积成正比,并且小的物理尺寸意味着小的体积。当然,还有另一个影响真空泵抽速的重要因素,即转速。为了使小型真空泵的抽速与大型真空泵的抽速相匹配,有必要提高其转速。改变真空泵的转速有两种方法,一种是改变电源的频率,即使用变频器;二是改变变速箱的传动比。其中,采用变频器的优点是可以提供闭环控制,但在重载下容易造成转矩损失。改变变速箱的传动比是一种非常经济的方法,当然,它只能提供不可控的单速。

  现在,我们可以看到有这么多不同设计的干式真空泵,每一个都有自己的特点,优点和缺点。长期以来,使用成本是影响人们选择真空泵的一个重要因素。越来越多的真空泵用户意识到真空泵运行的稳定性也应该考虑在内。因为真空泵的意外错误会降低机器的效率,影响晶圆的生产和交付时间,甚至会造成加工后的晶圆报废和机器其他部件的损坏。由于螺杆设计是单级设计,与多级泵如叶片泵、爪式泵和组合泵相比,使用的零件数量减少了60%。这使得它在未来的稳定性和维护成本方面具有很大的优势。

  总之,如果用户认为功耗对他来说很重要,但氮气消耗对他来说不重要,那么选择内压缩螺钉是一个很好的选择。总的来说,对尾气处理的要求越来越严格,这使得今后减少氮的用量变得更加重要。如果你想简化你的库存控制,通过使用一个单一类型的泵来处理各种半导体工艺没有改变,那么外部压缩螺钉是你的最佳选择。

  在真空泵的维护中,应注意以下几点:

  (1)泵的制造精度高,如果不需要,就不必拆卸,以免因维护不当而降低精度。当然,维修工人应该提高他们的技术水平。当泵的技术性能恶化时,应及时修复,最好定期维护(一年)。

  维护期间,从真空系统中取出泵后,开始检查并泵出。如果确认必须拆下泵进行修理,按照以下步骤取出:处的保护盖,拆下三角带、大皮带和排气口,松开各进气口处的压盖,待油清洗干净后,拆下保护盖和油封室,取出主轴(不要弄断链条),然后取出左右座。


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